企業名稱 | 上海微電子裝備(集團)股份有限公司 | 統一社會代碼 | 91310000736664790J |
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法人代表 | 干* | 成立日期 | 2002-03-07 |
公司類型 | 股份有限公司(非上市、國有控股) | 所在地區 | 上海 |
聯繫方式 | 021-51315131 | 企業官方 | http://www.smee.com.cn |
企業地址 | 上海市 張江高科技園區張東路1525號 | 企業郵箱 | info@smee.com.cn |
經營範圍 | 半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務,經營本企業自產產品的出口業務和本企業所需的機械設備、零配件、原輔材料的進口業務(但國家限定公司經營或禁止進出口的商品及技術除外)。【依法須經批准的項目,經相關部門批准後方可開展經營活動】 |
序號 | 專利號/專利申請號 | 專利名稱 |
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1 | ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 |
2 | ZL201410857409.5 | 一種矽片邊緣保護裝置 |
3 | ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 |
上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力於半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用於集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等製造領域。