電子氣體廣泛應用於薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。目前主要的電子氣體有:矽烷、氨氣、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氫、一氧化碳、氖氣、氪氣等。2016年我國高純特種電子氣體市場規模分析詳情如下。
高純特種電子氣體是整個電子工業體系的核心關鍵原材料之一,在國防軍事、航空航天、新型太陽能電池、電子產品等方面有著極其廣泛的應用。作為國防軍工領域核心關鍵原材料,一直受歐美已開發國家的技術封鎖,特別是對一些關鍵特種電子氣體產品(如高純磷烷和砷烷)實施禁運。從國家利益出發,將大規模集成電路的國產化列為我國中長期發展規劃後,更亟待高純電子氣體的配套支持。
目前高純特種電子氣體的研發與產業化已作為我國極大規模集成電路製造裝備及成套工藝的核心部分被列入我國國家科技重大專項,與大型飛機、載人航天與探月工程等16 個重大專項一起被列入《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006-2020)》。
2015 年全球電子特種氣體市場達74億美元,主要生產供應商是美國氣體化工(APCI)、美國普萊克斯(Praxair)、日本昭和電工(Showa Denko)、英國BOC 公司、法國液化空氣(Air Liquid)、日本酸素公司等。
據最新2016-2021年中國電子氣體產業市場運行暨產業發展趨勢研究報告數據顯示,2015 年國內市場規模達85 億元,其中應用於半導體電子特氣55.3 億元。目前全球主要的跨國氣體公司均在中國設有生產基地,國內高純氣體市場幾乎被外資企業壟斷。
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