中國報告大廳網訊,CMP拋光材料是半導體製造中至關重要的一類材料,廣泛應用於集成電路製造過程中,用於平整晶片表面,去除不需要的材料並確保工藝精度,以下是2024年CMP拋光材料行業現狀分析。
《2024-2029年中國CMP拋光材料行業項目調研及市場前景預測評估報告》指出,CMP拋光材料包括拋光液和拋光墊、淺溝槽隔離、多晶矽、二氧化矽介電層和修整盤等,其中拋光墊和拋光液是CMP工藝的關鍵因素。
CMP作為半導體材料的拋光步驟的關鍵原材料,多年來一直屬於「卡脖子」狀況,隨著安集科技突破拋光液之後,國產化替代正式開始,但目前技術仍有待提升,且拋光墊技術壁壘更厚背景下市場集中度更高,國產化難度更高,政策推動整體集成電路發展背景下,國產化將繼續推進。
從產業鏈來看,CMP材料產業鏈與萬華化學聚氨酯板塊相關度高,拋光液主要原料包括研磨顆粒、各種添加劑和水,其中研磨顆粒主要為矽溶膠和氣相二氧化矽。化學機械拋光液原料中添加劑的種類根據產品應用需求有所不同,如金屬拋光液中有金屬絡合劑、腐蝕抑制劑等,非金屬拋光液中有各種調節去除速率和選擇比的添加劑。
目前,國內CMP拋光材料產業起步慢,企業數量少,規模較小,僅有少數企業能實現量產,在市占率方面也與國外廠商有相當的差距。拋光墊領域,Dow(陶氏化學)、Cabot、Thomas West等外資廠商公司擁有90%以上市場份額。國產化替代尚未突破這一領域,鼎龍股份存在少量產能,主要用於面板行業。
技術要求不斷提升:隨著半導體製造技術朝著更小的節點發展(如7nm、5nm及更小節點),CMP材料的要求也隨之提高。CMP拋光材料行業現狀分析指出,現代晶片製造過程中,需要使用更精細、更加均勻的拋光材料,以確保良好的表面平整度和更高的產量。
綠色環保要求:隨著環保法規的日益嚴格,CMP拋光材料的生產和使用需要更加關注環保和可持續性問題。減少揮發性有機物(VOCs)和其他有害化學品的排放。開發可以再利用或降解的拋光液,以減少對環境的長期影響。
自動化和智能化:隨著製造過程的複雜性增加,CMP設備和材料的自動化程度也在提高。智能化的CMP過程控制可以提高產量、降低缺陷率並提高效率。通過傳感器和數據採集技術,實時監控拋光過程中的各種參數(如壓力、溫度、化學成分等),確保表面質量。
多功能材料的開發:用於拋光的化學物質和用於機械磨削的物理材料。隨著技術需求的變化,越來越多的多功能CMP拋光材料應運而生,它們在單一材料中結合了化學作用與機械作用,能夠更高效地去除材料,同時保持更好的表面質量。
定製化和客戶化:不同的晶片製造商和設備廠商對CMP拋光材料的需求各不相同,因此定製化材料的需求越來越大。生產商正在根據客戶的具體需求,如晶片種類、製造工藝以及生產規模,提供量身定製的CMP拋光材料解決方案。
總之,CMP拋光材料行業正面臨著一系列挑戰和機遇。隨著半導體製造工藝的不斷進步,對CMP材料的要求越來越高,同時也推動了相關技術的創新。未來,CMP拋光材料將朝著高效、環保、智能化和定製化的方向發展,且全球化市場競爭也將加劇。