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二次離子質譜儀市場分析

2018-04-24 10:29:27報告大廳(www.chinabgao.com) 字號:T| T

  二次離子質譜又稱離子探針。是一種非常靈敏的表面成份分析手段,也稱次級離子質譜,對某些元素可達到ppm量級;但由於各種元素的二次離子差額值相差非常大,作定量分析非常困難。以下是對二次離子質譜儀市場分析

  二次離子質譜儀介紹

  這是用來檢測材料的一種儀器,即是利用離子束把待分析的材料從表面濺射出來,然後再檢測出離子組分並進行質量分析。它是對微粒進行同位素分析的有力工具,但它不能直接分辨同量異位數和確認元素,也難以高效率地在環境樣品中尋找特定成分的微粒。

  二次離子質譜儀原理

  用一次離子束轟擊表面,將樣品表面的原子濺射出來成為帶電的離子,然後用磁分析器或四極濾質器所組成的質譜儀分析離子的荷/質比,便可知道表面的成份。

  非常靈敏的表面成份分析手段,對某些元素可達到ppm量級;但由於各種元素的二次離子差額值相差非常大,作定量分析非常困難。Hiden Analytical生產的SIMS Workstation通過SNMS可以做到很好的定量,SNMS分析樣品表面濺射出來的中性粒子(占到濺射出來的粒子總數的95%以上),用來做定量,誤差非常小。

  二次離子質譜儀,是最前沿的表面分析技術。二次離子質譜儀揭示了真正表面和近表面原子層的化學組成,其信息量也遠遠超過了簡單的元素分析,可以用於鑑定有機成分的分子結構。二次離子質譜儀廣泛應用於微電子技術、化學技術、納米技術以及生命科學之中,它可以在數秒內對表面的局部區域進行掃描和分析,生成一個表面成分圖。

  二次離子質譜儀工作原理

  1、利用聚焦的一次離子束在樣品上進行穩定的轟擊,一次離子可能受到樣品表面的背散射(機率很小),也可能穿透固體樣品表面的一些原子層,深入到一定深度,在穿透過程中發生一系列彈性和非彈性碰撞。一次離子將其部分能量傳遞給晶格原子,這些原子中有一部分向表面運動,並把能量傳遞給表面離子使之發射,這種過程稱為粒子濺射。在一次離子束轟擊樣品時,還有可能發生另外一些物理和化學過程:一次離子進入晶格,引起晶格畸變;在具有吸附層覆蓋的表面上引起化學反應等。濺射粒子大部分為中性原子和分子,小部分為帶正、負電荷的原子、分子和分子碎片。

  2、電離的二次粒子(濺射的原子、分子和原子團等)按質荷比實現質譜分離。

  3、收集經過質譜分離的二次離子,可以得知樣品表面和本體的元素組成和分布。在分析過程中,質量分析器不但可以提供對於每一時刻的新鮮表面的多元素分析數據。而且還可以提供表面某一元素分布的二次離子圖像。

  二次離子質譜儀對人們便利那麼大,希望相關機構加大力度,把二次離子質譜儀做大做強,也相信未來二次離子質譜儀發展會越來越好。以上就是筆者對二次離子質譜儀市場分析了。

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