2025年中國碳化矽外延爐市場深度解析：行業規模、競爭格局與領軍企業戰略

  一、中國碳化矽外延爐市場現狀及產業動態

  中國報告大廳網訊，截至2025年7月，我國碳化矽（SiC）外延爐市場規模持續擴大。數據顯示，2023年中國碳化矽外延爐行業規模已突破15億元，預計到2026年將增至21.66億元，主要得益於新能源汽車、光伏逆變器等下游需求的快速釋放。當前國產替代進程加速，襯底片產能提升帶動設備市場增長，但海外四大龍頭仍占據全球80%以上的碳化矽外延設備份額。國內企業如晶盛機電、北方華創正通過技術突破搶占市場份額，推動產業鏈自主可控。

  二、碳化矽外延爐行業市場規模與驅動因素分析

  1. 市場需求驅動增長

  碳化矽外延爐是製造SiC器件的核心設備，其性能直接影響襯底質量。隨著新能源汽車對高效功率半導體的需求激增（如特斯拉Model 3已全面採用SiC模塊），全球碳化矽晶片產能擴張加速，帶動外延爐需求攀升。預計2025-2031年，中國碳化矽外延爐市場規模將以複合增長率約9%持續擴容。

  2. 國產替代進程提速

  海外廠商如日本NuFlare、法國LPE面臨產能瓶頸，交貨周期長達18個月以上。國內企業通過自主研發突破技術壁壘，例如晶盛機電已實現6-8英寸碳化矽外延設備量產，並布局12英寸大矽片配套裝備。截至2024年9月，其半導體設備業務收入超百億元，驗證了國產替代的可行性。

  三、全球碳化矽外延爐市場競爭格局與挑戰

  1. 海外壟斷與本土突圍並存

  全球市場仍由NuFlare、LPE等四家國際廠商主導，但國內企業正通過差異化競爭搶占份額。例如北方華創的碳化矽外延設備已進入頭部功率器件廠商供應鏈，其產品良率接近國際水平。

  2. 技術瓶頸與產能缺口

  儘管國產設備在部分參數（如溫度均勻性、工藝穩定性）上仍落後于海外龍頭，但通過政府專項補貼和企業研發投入，技術差距正快速縮小。預計到2031年，中國企業在6英寸碳化矽外延爐領域的市占率將提升至40%以上。

  四、重點企業戰略布局與競爭力分析

  1. 晶盛機電：全產業鏈布局先行者

  作為國內半導體裝備龍頭，其碳化矽業務覆蓋晶體生長、切片、拋光到外延環節。2024年前三季度營收達144.8億元，研發投入占比超6%，重點突破8英寸SiC外延爐技術，計劃於2025年底前實現小批量交付。

  2. 北方華創：泛半導體設備平台化發展

  依託刻蝕、沉積等成熟技術積累，北方華創將碳化矽外延設備作為第二增長曲線。其最新機型可支持4英寸至8英寸襯底，並通過與中科院合作開發新型熱場結構，降低能耗20%。

  3. 恆普股份：差異化競爭策略

  專注於高端碳化矽長晶爐和外延設備，採用磁控濺射輔助工藝提升薄膜均勻性。其客戶包括多家歐洲SiC晶片製造商，在海外市場份額達15%，成為國產設備出海的代表案例。

  五、2025-2031年行業趨勢與投資機遇

  未來五年，碳化矽外延爐市場將呈現以下特徵：

  中國碳化矽外延爐行業正處於技術突破與市場爆發的關鍵期。儘管面臨海外巨頭的激烈競爭和核心技術攻關壓力，但依託政策支持、本土產業鏈協同及頭部企業的研發投入，國產設備有望在2031年前實現全球市占率突破30%的目標。隨著新能源汽車滲透率超40%，光伏逆變器SiC滲透率從當前5%提升至20%，行業將迎來黃金發展窗口期，重點企業需加速工藝創新與產能布局以鞏固優勢地位。

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