光伏產業帶來機會 國產太陽能電池設備成功搶灘

光伏產業涵蓋了太陽光能轉化為電能的一系列過程，而裝備是貫穿整個產業鏈的基礎，光伏產業鏈的每一個環節都離不開相應的生產設備。目前，我國光伏裝備產業已具有一定的規模和水平，可為產業的發展提供強有力的支撐。隨著國家對新型可再生能源發展的重視，作為產業基礎支撐和中國光伏產業競爭利器之一的光伏裝備將隨著產業的發展而不斷發展壯大。

國產設備可部分替代進口

正如微電子產業的核心是集成電路製造，太陽能光伏產業鏈除前道的矽材料提純、矽片加工和後道的組件及應用系統生產外，最核心關鍵的環節為太陽能電池製造，它的具體工序包括：清洗、制絨—擴散—刻蝕—減反射膜製備—電極印刷—低溫烘乾—高溫燒結—自動測試分檢等。

依靠我國半導體設備行業數十年來的技術積累，通過和一流光伏電池企業的深度合作，經過連續多年的不懈努力，我國光伏設備企業目前已基本具備太陽能電池製造設備的整線裝備能力。在目前國產設備及進口設備混搭的主流建線方案中，國產設備在數量上已占多數，但價值上則不及價格昂貴的進口設備。國內目前的生產線絕大多數為125mm×125mm單晶電池生產線，只有少數大廠如無錫尚德等具備156mm×156mm多晶電池的批量生產技術及能力。

目前國內廠商可提供10種太陽能電池大生產線設備中的8種，其中有6種(擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘乾爐)已在國內生產線占據主導地位，2種(管式PECVD、快速燒結爐)和進口設備並存但份額在逐步增大。而全自動絲網印刷機、自動分檢機、平板式PECVD等3種設備在近期內尚需完全依賴進口，但相應國產裝備推出的日子已為期不遠。國產設備中的部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機等不僅廣受國內客戶的認可，也以優良的性能價格比和良好的可靠性受到國外客商的青睞，開始少量出口供貨。

關鍵的6種電池製造工藝設備中，國產設備的技術水平如下：

擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨設備：達到或接近國際先進水平，性價比優勢十分明顯，占據了國內大部分市場。用於多晶電池絨面製作的制絨機與進口產品有一定差距，尚沒有用於周邊刻蝕的雷射刻阻機及濕法化學刻蝕設備。

PECVD：管式PECVD設備因其產能問題的解決和更好的成膜質量已呈現與平板型PECVD分庭抗禮之勢，開始批量進入大生產線，國產設備近期在工藝應用上又取得了新的進展，整體工藝效果直逼國際著名廠家產品，受到越來越多的客戶歡迎，份額正進一步擴大，成為產業應用的主流設備指日可待，國產平板型PECVD設備的研製也正在緊鑼密鼓地進行。

高溫燒結爐：與國際水平有一定差距，但差距不大，近來也取得了可喜的進步，部分高端產品開始在大線使用，應用效果良好。

絲網印刷機：全自動多印刷頭產品正在研發中，關鍵技術已取得突破，整機進入市場且被用戶接受尚需一段時間，手動和半自動產品無法進入主流大生產線。

國產設備已得到業界認可

國產太陽能光伏設備通過電池生產廠家的鼎力相助及在大生產線上的大量應用，在國內用戶中已建立起良好的信譽，得到業界的廣泛認可，越來越多的客戶從價格適中、性能良好、技術不斷進步的國產設備中受益。同國外企業動輒超過千萬歐元的建線(25MW標準線)投資相比，國內企業每條線的投資只有3000萬-5000萬元人民幣，無疑在終端產品的競爭中已占據了先天的成本優勢。否則中國光伏企業95%市場在國外、90%以上的高純矽材料又必須從國外高價進口這樣兩頭在外的產業特徵，很難想像國內企業能以比國外同類企業高得多的矽材料採購成本去直接參與國際市場競爭，因為在大多數國內企業中矽材料的成本占到了太陽能電池總生產成本的80%以上！

自2002年開始，隨著無錫尚德太陽能電力公司的成立和後續幾年的超常規發展，中國太陽能光伏企業如雨後春筍般湧現，且規模不斷擴大，產業開始逐漸形成並發展壯大，截至目前，僅生產電池的企業就超過了60家，為相關設備企業提供了難得的市場機遇。

通過和一流電池企業合作並融合了先進的工藝技術，歷經多次技術換代及升級，國產的太陽能電池關鍵設備相繼在國內大生產線上得到應用且逐漸成為主流選擇，使我國基本具備了晶體矽太陽能電池製造設備的整線供給能力，受此拉動，我國電子專用設備行業也呈現出多年未有的蓬勃發展景象。骨幹企業如中國電子科技集團第四十八研究所等，光伏裝備的訂貨量已連續四年翻番，在引領國產電池製造設備技術及市場的同時，矽材料加工設備如多晶矽鑄錠爐、單晶爐、坩堝烘烤爐等也受到了市場的積極追捧。

高效、環保是設備發展趨勢

太陽能電池製造設備發展的動力來源於光伏企業對電池轉換效率持續提高和製造成本不斷降低的要求。其發展的目標，總的來講，一是不斷物化新的電池製造工藝技術，從而提高單體電池的光電轉換效率和產品的內在質量；二是提高自動化水平和單機生產效率，使整線生產效率進一步提高，降低生產成本；三是降低化學消耗品用量、節能節水、減少廢氣廢液排放，更環保更清潔更經濟。

太陽能電池技術的發展始終引領著相應裝備技術的發展，目前國際上太陽能電池的技術及大生產工藝已相當成熟，實驗室水平的最高光電轉換效率單晶已達到24.7%，多晶為20.3%。而生產線技術水平為單晶16%～17.5%、多晶14%～16.5%，且多晶矽太陽電池和單晶矽太陽電池技術並行發展。

在提高整線及單機自動化水平，進而減少人工干預、提高生產效率方面，歐洲和日本已有多條全封閉、全自動生產線運行，每線只需不到十名操作人員，較現有的常規生產線節省人力90%以上，生產效率提高20%左右。設備間的自動化傳遞，降低了人工接觸污染，使得產品質量也得以穩定和提高，目前大規模生產已實現17%～18%的轉換效率，儘管由於高昂的設備投資和對矽片規格尺寸較苛刻的要求而暫時無法廣泛推廣，但技術方向應充分肯定。

為提高單機的生產量，歐洲某廠商推出的單機50MW的大生產設備如平板型PECVD也已進入市場。

在環保技術應用方面，環保工藝的進步及在設備上的物化，如環保清洗技術、潔淨擴散技術等，大大減少了化學消耗品的使用量和中間生成污染物排放量，也降低了有害反應物的產生，加上更為完善的廢氣、廢液收集處理裝置，對環境的污染

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